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10294-34-5

中文名称 三氯化硼
英文名称 Boron trichloride
CAS 10294-34-5
EINECS 编号 233-658-4
分子式 BCl3
MDL 编号 MFCD00011313
分子量 117.17
MOL 文件 10294-34-5.mol
更新日期 2024/04/16 11:54:54
10294-34-5 结构式 10294-34-5 结构式

基本信息

中文别名
氯化硼
三氯化硼
电子工业用三氯化硼
英文别名
Boron chloride
BORON TRICHLORIDE
BCl3
Borane,trichloro-
Boron chloride (BCl3)
boronchloride(bcl3)
Chlorure de bore
chloruredebore
chloruredebore(french)
trichloro-boran
Trichloroborane
Trichloroboron
trichloro-Boron
Trona boron trichloride
BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN HEPT ANE
BORON TRICHLORIDE, 1.0 M SOLUTION IN TO&
BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN P-XY LENE
BORON TRICHLORIDE, 10 WT. % SOLUTION IN 2-CHLOROETHANOL
BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN DICH LOROMETHANE
BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN HEXA NES
所属类别
无机化工:金属氯化物及盐
所属类别一
无机化工产品: 无机盐: Cv电子工业用无机化工产
所属类别二
无机化工产品: 无机盐: Cb硼化物

物理化学性质

外观性质无色发烟液体或气体,有强烈臭味,易潮解。
外观性状无色透明带有强烈臭味的液体。相对密度1.349(11℃)。熔点107.3℃。沸点12.5℃。遇水分解生成氯化氢和硼酸,并放出大量热量,在湿空气中因水解而生成烟雾。三氯化硼反应能力较强,能形成多种配位化合物,具有较高的热力学稳定性,但在放电作用下,会分解形成低价的氯化硼。在大气中,三氯化硼加热能和玻璃、陶瓷起反应,也能和许多有机物反应形成各种有机硼化合物。
溶解性溶于苯、二硫化碳。
熔点−107 °C(lit.)
沸点12.5 °C(lit.)
密度1.326 g/mL at 25 °C
蒸气密度4.05 (vs air)
蒸气压29.72 psi ( 55 °C)
闪点84 °F
储存条件2-8°C
溶解度与可溶于二氯甲烷、乙醇、四氯化碳、乙醚、二甲基甲酰胺、芳香族溶剂、饱和烃和卤代烃混溶。
形态溶液在储存期间颜色可能会变暗
颜色白色
水溶解性decomposes
敏感性湿气敏感
Merck13,1338
暴露限值ACGIH: TWA 50 ppm
OSHA: TWA 25 ppm; STEL 125 ppm
NIOSH: IDLH 2300 ppm
稳定性不稳定。与金属不相容。与水剧烈反应。与苯胺、磷化氢、四氧化二氮剧烈反应。在潮湿空气中发烟。
NIST化学物质信息Borane, trichloro-(10294-34-5)
EPA化学物质信息Boron trichloride (10294-34-5)

安全数据

危险性符号(GHS)
GHS02,GHS05,GHS06,GHS08
警示词危险
危险品标志T+,T,N,F
危险品运输编号UN 3390 6.1/PG 1
WGK Germany3
RTECS号ED1925000
Hazard NoteVery toxic
TSCAYes
DOT Classification2.3, Hazard Zone C (Gas poisonous by inhalation)
危险等级2.3
包装类别II
海关编码28121049

应用领域

用途一
用作半导体硅的掺杂源,有机合成催化剂;还可用于高纯硼和有机硼化合物的制取
用途二
可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂、可对钢铁进行硼化。还可用来制造氮化硼及硼烷化合物。
用途三
主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
参考质量标准二
参考标准
指标名称
指标
三氯化硼(BCl3)/%≥
99
游离氯/%≤
0.005

参考标准
指标名称
指标
电子级
三氯化硼(以BCl3计)/%≥
99.95
氯(C12)(NTP)/%
0.01
光气(COCl2)/%
0.09
硅(Si)/%
0.01
比容积/(m3/kg)
0.206
沸点/℃
12.5
相对密度(21℃)
4.050
气体密度(NIP)/(kg/m3)
4.85
临界压力/kPa(kgf/cm2)
0.987(39.5)
临界温度/℃
178.8
参考质量标准一
国家标准GB/T 17874—1999
指标名称
指标
三氯化硼纯度/%≥
99.999
氧化氩(以氧计)含量/10-6
2
氮含量/10-6
4
一氧化碳含量/10-6
0.2
二氧化碳含量/10-6
0.5
甲烷含量/10-6
0.5

制备方法

方法一
合成法将干燥的元素硼粉放入管式反应炉的反应管里,先用惰性气体排除空气,然后加热至300℃,通入少量氯气,在温度达到650℃时,大量通人氯气,温度控制在650~750℃。生成的三氯化硼由接收器用干冰冷却收集,再经精馏,制得三氯化硼成品。其
2B+3C12→2BCl3
方法二
将精制三氯化硼为原料,通过吸附和蒸馏的方法进行提纯,制得高纯度三氯化硼。

化学品安全说明书(MSDS)

10294-34-5(安全特性,毒性,储运)

储运特性
库房通风低温干燥; 与碱类、H发孔剂分开存放
毒性分级
高毒
急性毒性
吸入- 大鼠  LC50: 2451 PPM/ 1小时; 吸入- 小鼠  LCL0: 20 PPM/ 7小时
可燃性危险特性
受热或遇水放出有毒氯化氢和硼化物气体
类别
腐蚀物品
灭火剂
干砂、干石粉; 禁止用水

常见问题列表

理化性质
三氯化硼,化学式BCl3。分子量 117.11。无色带有强烈臭味的液体。比空气重。在空气中不燃烧。在潮湿空气中发烟。熔点-107.3℃,沸点12.5℃,相对密度1.34912,折光率 1.41954。在水中水解生成氯化氢和硼酸。遇乙醇则分解。和金属氯化物、非金属氯化物及氢化物都能形成配位化合物。能同许多有机物反应形成各种有机硼化物。液体三氯化硼导电率很小,把它作溶剂时没有使盐类及强酸离子化的倾向。
三氯化硼
高纯三氯化硼主要用于(硅)半导体器件制造工艺中的等离子干刻、扩散掺杂,在高温下,经过分解生成硼杂质向硅中扩散,形成P型半导体,也可用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的干法蚀刻;作硼载气及一些有机反应的催化剂;精炼镁、锌、铝、铜合金时从溶化金属中除掉氮、碳、氧化合物。
制法:实验室中由三氟化硼与氯化铝反应而得;制备较大量时,可将脱水的硼砂与木炭于400~700℃温度下,在氯气流中加热而得。
用途:用于制高纯硼及氮化硼、硼烷化合物,及用于作硅酸盐分解时的助熔剂和有机合成催化剂等。
应用
三氯化硼在医药中间体领域,用三氯化硼处理后的羧酸,加入醇类,能够简单、高效、高产量的获得羧酸酯。在精细化工品领域,三氯化硼可用于高纯硼和有机化合物的催化剂。在钢铁制造领域,三氯化硼作为添加剂可使钢铁硼化,使钢铁具有高硬度、高熔点、良好的电和磁性功能、高抗腐蚀性,提高钢铁使用寿命
毒性
非易燃气体,有极强反应性,遇水发生爆炸性分解,与金属、有机物等可发生激烈反应,遇潮气时对大多数金属有强腐蚀性,也能腐蚀玻璃等,兼有氯化氢和硼两者的毒性。在潮湿空气中可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾,遇水发生强烈反应,散发出有刺激性和腐蚀性的氯化氢气体,接触时能刺激眼睛、皮肤和呼吸系统,液体能灼伤眼睛和皮肤。应使吸入气体的患者脱离污染区,安置休息并保暖,严重者就医诊治。眼睛受刺激可用大量水冲洗15 min,严重者就医诊治。皮肤接触也用水冲洗,如有灼伤就医诊治。误服应立即漱口,饮水、速送医院救治。
毒性
三氯化硼可由呼吸道和消化道以及渗透过皮肤进入人体内,腐蚀眼睛、呼吸道黏膜、皮肤,危及肝、肾及大脑,吸人毒烟(它与水或空气接触所产生的腐蚀性烟)会导致肺气肿,重者可致死。因此,操作时要戴好安全保护用品,防止呼吸道及眼睛受重伤。中毒后迅速离开现场、半卧位休息,吸人新鲜空气,脱去被沾染衣服,用大量水冲洗污染处,尽快将中毒者送往医院治疗。
三氯化硼价格(试剂级)
报价日期产品编号产品名称CAS号包装价格
2024/01/16H32751三氯硼烷, 1M 二氯甲烷溶液, stab.
Boron trichloride, 1M soln. in dichloromethane, stab.
10294-34-5100ml1219元
2024/01/16H32751三氯硼烷, 1M 二氯甲烷溶液, stab.
Boron trichloride, 1M soln. in dichloromethane, stab.
10294-34-5500ml3420元
2024/01/16C19892三氯化硼,1M己烷溶液
Boron trichloride, 1M solution in hexane, AcroSeal×
10294-34-5100ml902元
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