三甲基硅烷
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- CAS号:
- 993-07-7
- 英文名:
- TRIMETHYLSILANE
- 英文别名:
- Silane, trimethyl-;(CH3)3SiH;TRIMETHYLSILANE;trimethyl-silan;trimethylsilicon;SILICON TRIMETHYL;Trimethylsilane,97%;Trimethylsilane 99.9%;Trimethylsilane 99.99%;2-Methyl-2-silapropane
- 中文名:
- 三甲基硅烷
- 中文别名:
- 三甲基硅烷
- CBNumber:
- CB1264485
- 分子式:
- C3H10Si
- 分子量:
- 74.2
- MOL File:
- 993-07-7.mol
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三甲基硅烷化学性质
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熔点:
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-135,9°C
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沸点:
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6,7°C
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密度:
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0,638 g/cm3
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折射率:
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1.3800 (estimate)
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闪点:
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<-29°C
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形态:
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liquid
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比重:
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0.638
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水溶解性:
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1.4g/L at 20℃
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水解敏感性:
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3: reacts with aqueous base
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LogP:
-
2.2 at 20℃
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CAS 数据库:
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993-07-7
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EPA化学物质信息:
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Silane, trimethyl- (993-07-7)
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三甲基硅烷性质、用途与生产工艺
三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。
三甲基硅烷是具有刺鼻气味的无色液体，其蒸汽比空气重，可能沿地面流动，造成远处着火。
三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料，其用途逐渐扩大。
三甲基硅烷
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三甲基硅烷
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