三(二甲胺基)硅烷

三(二甲胺基)硅烷

中文名称三(二甲胺基)硅烷
中文同义词三(二甲基氨基)硅烷;三(二甲氨基)硅烷;三(二甲胺基)硅烷;三(二甲胺)硅;N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺
英文名称TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
英文同义词TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE;n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethyl-silanetriamin;n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethylsilanetriamine;N,N,N’,N’,N’’,N’’-hexamethyl-Silanetriamine;TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE 99+%;N,N',N''-(Silanetriyl)tris(dimethylamine);N,N',N''-Silanetriyltris(dimethylamine);TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99.9+%
CAS号15112-89-7
分子式C6H19N3Si
分子量161.32
EINECS号239-165-0
相关类别胺基金属类;硅烷试剂;有机硅;电子化学品;化工原料;ALD Precursors;organosilicon compounds
Mol文件15112-89-7.mol
结构式三(二甲胺基)硅烷 结构式

三(二甲胺基)硅烷 性质

熔点<0°C
沸点145 °C
密度0,838 g/cm3
折射率1.4247
闪点25°C
酸度系数(pKa)10.93±0.70(Predicted)
形态液体
颜色无色至淡黄色
比重0.84
敏感性air sensitive, moisture sensitive
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
EPA化学物质信息N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7)

三(二甲胺基)硅烷 用途与合成方法

相关的研究表明,三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压,而且表现出了相当高的反应性,所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。 一种三(二甲胺基)硅烷的制备方法,包括如下步骤:在惰性气氛保护下,在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂,然后向体系中加入有机锂化合物,制得二甲胺的锂盐;向体系中加入三氯硅烷;反应结束后进行蒸馏,得到三(二甲胺基)硅烷。

安全信息

危险品标志F,C
危险类别码10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11
安全说明16-26-36/37/39-45-43
危险品运输编号1993
WGK Germany3
RTECS号VV5800000
TSCAYes
毒性rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989.

MSDS信息

三(二甲胺基)硅烷 上下游产品信息

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