二氯硅烷
| 中文名称 | 二氯硅烷 |
|---|---|
| 中文同义词 | 三氯矽烷;二氯硅烷;电子级高纯二氯二氨硅 |
| 英文名称 | Dichlorosilane |
| 英文同义词 | dichloro-silan;dichlorsilane;siliconchloridehydride;DICHLOROSILANE;DICHLOROSILANE 99;DICHLOROSILANE 227 G (IN LECTURE;DICHLOROSILANE, 99.99+%;DICHLOROSILANE 97+% |
| CAS号 | 4109-96-0 |
| 分子式 | Cl2H2Si |
| 分子量 | 101.01 |
| EINECS号 | 223-888-3 |
| 相关类别 | Cv电子工业用无机化工产品;无机化工产品;无机盐;化学品 ( Chemical );电子特气;Chemical Synthesis;Compressed and Liquefied GasesMicro/Nanoelectronics;Electronic Chemicals;Gases;Synthetic Reagents;硅烷试剂 |
| Mol文件 | 4109-96-0.mol |
| 结构式 |  |
二氯硅烷 性质
| 熔点 | −122 °C(lit.) |
|---|---|
| 沸点 | 8.3 °C(lit.) |
| 密度 | 1,22 g/cm3 |
| 蒸气密度 | 3.5 (vs air) |
| 蒸气压 | 1254 mm Hg ( 20 °C) |
| 闪点 | -37°C |
| 溶解度 | 与H2O反应 |
| 形态 | 无色气体 |
| 颜色 | 无色气体；易燃 |
| 比重 | 0.76 |
| 爆炸极限值(explosive limit) | 99% |
| 水溶解性 | decomposes |
| 水解敏感性 | 9: reacts extremely rapidly with atmospheric moisture - may be pyrophoric - glove box or sealed system required |
| 稳定性 | 稳定的。极易燃；注意非常宽的爆炸极限。与水、醇类、强氧化剂、碱类会急剧地发生反应。 |
| CAS 数据库 | 4109-96-0(CAS DataBase Reference) |
| EPA化学物质信息 | Dichlorosilane (4109-96-0) |
吸入人体会水解生成盐酸、刺激呼吸系统，引起咳嗽，肺部水肿。吸人二氯二氢硅气体时间较长会引起窒息而死。溅在皮肤上可引起坏死，溃疡长期不愈。
生产人员要穿着密闭型工作服，戴防毒口罩、密闭眼镜、乳胶手套等劳保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮肤的直接接触。生产设备要密闭，车间要通风良好。下班后要洗淋浴。
Si+2HCl→SiH2C12
生产人员要穿着密闭型工作服，戴防毒口罩、密闭眼镜、乳胶手套等劳保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮肤的直接接触。生产设备要密闭，车间要通风良好。下班后要洗淋浴。
化学性质
无色。易燃。有毒腐蚀性气体，具有刺激性臭味。熔点-122℃。沸点8.2℃。气体相对密度(空气=1)4.599；液体相对密度d4}-122>。1.42。临界温度176.3℃。蒸气压力(20℃，绝对压)0.15 Mpa。比容积(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空气中爆炸极限1.3％～98％。与水发生剧烈反应。在湿空气中水解，生成盐酸雾。有强腐蚀性。用途
用于半导体制造中，尤其是外延法工艺作为硅源。用途
用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅生产方法
将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应，生成二氯二氢硅，经蒸馏分离三氯氢硅，把得到的二氯二氢硅进行精制，制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其Si+2HCl→SiH2C12
安全信息
| 危险品标志 | F+,T |
|---|---|
| 危险类别码 | 12-14-23-34 |
| 安全说明 | 26-36/37/39-45 |
| 危险品运输编号 | UN 2189 2.3 |
| WGK Germany | 1 |
| RTECS号 | VV3050000 |
| F | 4.5 |
| TSCA | Yes |
| DOT Classification | 2.3 Hazard Zone B (Gas poisonous by inhalation) |
| 危险等级 | 2.3 |
| 毒性 | mouse,LC50,inhalation,144ppm/4H (144ppm),Archives of Toxicology. Vol. 70, Pg. 218, 1996. |
| 提供商 | 语言 |
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