乙硅烷

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发货地	安徽
更新日期	2023-08-12

产品详情

中文名称:乙硅烷	英文名称:Disilane
CAS:1590-87-0	纯度规格: 99.998%
产品类别: Special gas

乙硅烷Disilane用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源，在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。

关键字：乙硅烷;Disilane;集成电路IC;CVD;先进制程;

公司简介

安徽亚格盛ARGOSUN 为高纯电子化学品集团公司，生产基地位于安徽芜湖及安徽全椒，致力于电子行业高纯化学原材料的研发与生产。公司由一支专业、高效、务实的团队组成，核心成员均为化合物半导体行业资深专家，承担过国家863计划相关课题实施。公司的主打产品——高纯金属有机源（MO源）是MOCVD外延制造的关键原料，特气产品围绕硅基气体，可为集成电路，太阳能，LED企业提供多种解决方案，其中乙硅烷Disilane为20纳米一下先进制程的关键材料，为国内首家也是唯一一家生产企业。

成立日期	2018-08-28 （6年）	注册资本	3000万
员工人数	100-500人	年营业额	￥ 1000万-5000万
主营行业	有机光电,微纳米电子技术,有机金属类,特种化学品	经营模式	工厂

全椒亚格泰电子新材料科技有限公司

非会员

公司成立：6年
注册资本：3000万
企业类型：有限责任公司
主营产品：乙硅烷Disilane，硅烷Silane，DCS，三甲基铝TMA
公司地址：经济技术开发区东区赤铸山路26号

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