磁控溅射仪 NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机那诺-马斯特

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发货地	上海
更新日期	2024-05-27

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中文名称:磁控溅射仪 NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机那诺-马斯特

产品类别: 沉积系统磁控溅射系统

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点：

不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁

NSC-4000磁控溅射镀膜仪.png

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机选配项：

向上、向下或侧面溅射
RF、DC以及脉冲DC溅射
共溅射、反应溅射
组合溅射
RF或DC偏压（1000V）
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机应用：

晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射

型号：

NSC-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统
NSC-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统
NSC-3000：PC计算机全自动控制的台式系统
NSC-1000：半自动控制的台式系统

(以下为双系统型号)

NSR-4000：溅射/RIE系统
NSP-4000：溅射/PECVD系统
NST-4000：溅射/热蒸发系统

关键字：磁控溅射系统;磁控溅射仪;磁控溅射镀膜设备;磁控溅射设备;磁控溅射镀膜机;

公司简介

那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月，是服务大中华区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室，提供销售和售后技术服务。那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国，该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司，是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式更名。自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备，正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD，用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD，溅射镀膜(反应溅、共溅、组合溅)，热蒸发和电子束蒸发，离子束刻蚀和反应离子刻蚀，原子层沉积，兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商，已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务

成立日期	2015-04-17 （10年）	注册资本	100万人民币
员工人数	1-10人	年营业额	￥ 1000万-5000万
主营行业	其他仪器耗材	经营模式	定制

那诺-马斯特中国有限公司

非会员

公司成立：10年
注册资本：100万人民币
企业类型：私人股份有限公司
主营产品：薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等
公司地址：徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号

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