用 途 是合成硅烷偶联剂的重要原料，也可用于制造硅油、聚硅烷等用作光导纤维材料三乙氧基硅烷中Si-OC2H5键通过水解缩合可转化成聚硅氧烷，Si-H键能与一系列的烯、炔类单体在铂催化剂催化下发生硅氢加成反应，得到各种有机硅的偶联剂(Y(CH2)nSiX3)、有机硅封端固化的醚以及聚丙烯酸酯密封胶和粘合剂等产品，并且适合于制备许多高纯的有机硅化合物，如改性的硅烷密封剂、抗雾剂、拒水剂、硅烷偶联剂（如乙烯基、环氧基及甲基丙烯酰氧基衍生物）和涂料材料。
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