三乙胺三氟化氢作为氟化试剂，具有HF等无法比拟的优越性；它是一种接近中性的物质，对硼硅玻璃容器无腐蚀性；可用于碳水化合物的衍生物和芳烃衍生物的取代反应，也可用于烯烃的加成反应和脱硅反应；近年来，三乙胺三氟化氢更是作为供氟源，广泛应用于有机化合物的电化学氟化领域中。
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