四甲基氢氧化铵(Tetramethylammoniumhydroxide,TMAH)又称为氢氧化四甲铵、四甲基氢氧化胺,无色至淡黄色液体,是最强的有机碱,极易吸潮,有一定的氨气味,在空气中能迅速吸收二氧化碳,在室温下其蒸汽压较低,在135~145℃完全分解气化,高纯品在140℃低温处理也无微量残渣。
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