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20654-88-0

中文名称 三氟化硼安全源
英文名称 BORON-11 TRIFLUORIDE
CAS 20654-88-0
分子式 BF3
分子量 68.82
MOL 文件 20654-88-0.mol
更新日期 2026/09/08 14:51:01
20654-88-0 结构式 20654-88-0 结构式

基本信息

中文别名
三氟化硼安全源
英文别名
Einecs 243-946-1
BORON-11 TRIFLUORIDE
Trifluoro(11B)borane
Borane-11B, trifluoro-
[11B]boron trifluoride

物理化学性质

熔点-127°C (lit.)
沸点-100°C (lit.)
形态gas
InChI1S/BF3/c2-1(3)4
InChIKeyWTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N

安全数据

WGK GermanyWGK 1
TSCATSCA listed
存储类别2A - Gases
危险性类别Acute Tox. 2 Inhalation
Eye Dam. 1
Skin Corr. 1A

常见问题列表

用途
硼11三氟化硼气体是富集硼 11 同位素的三氟化硼,主要作为半导体硅片 P 型离子注入掺杂源,同时用于核磁同位素示踪、等离子体工艺实验、硼同位素相关质谱标定研究。
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