四(二甲氨基)钛常温下是液体,是对空气和水汽非常敏感的化合物,能溶于醇类、苯、四氯化碳等有机溶剂中,不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压,而且表现出了相当高的反应性。
四(二甲氨基)钛不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压,而且表现出了相当高的反应性,是现今ALD研究领域的热点。