电子级磷酸
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- CAS号:
- 英文名:
- Electronic grade phosphoric acid
- 英文别名:
- 中文名:
- 电子级磷酸
- 中文别名:
- 电子级磷酸
- CBNumber:
- CB91136316
- 分子式:
- 分子量:
- 0
- MOL File:
- Mol file
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电子级磷酸性质、用途与生产工艺
电子级磷酸属于高纯磷酸，是电子行业广泛使用的一种超高纯化学试剂，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，包括基片涂胶前的清洗，光刻过程中的蚀刻及最终去胶以及硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。
电子级试剂是芯片制造过程中十分重要的原材料。随着芯片制程的不断变小，芯片生产工艺对磷酸质量要求越来越高，生产难度也越来越大。此前电子级磷酸只有美国、德国、日本、韩国等少数几个国家可以生产，直到2019年才有国内厂家取得技术突破，可以自行生产电子级磷酸，并将之出口到三星等国际知名芯片制造厂商。
无色粘稠液体（＞42℃），密度：1.672g/ml，熔点：42.35℃，沸点：158℃，黏度：85%水溶液。
电子级磷酸主要用于大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、半导体等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻；还可制备高纯磷酸盐。
电子级磷酸
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