トリメチルシラン
トリメチルシラン 物理性質
- 融点 :
- -135,9°C
- 沸点 :
- 6,7°C
- 比重(密度) :
- 0,638 g/cm3
- 屈折率 :
- 1.3800 (estimate)
- 闪点 :
- <-29°C
- 外見 :
- 液体
- 比重:
- 0.638
- 水溶解度 :
- 1.4g/L at 20℃
- Hydrolytic Sensitivity:
- 3: reacts with aqueous base
- LogP:
- 2.2 at 20℃
- CAS データベース:
- 993-07-7
- EPAの化学物質情報:
- Silane, trimethyl- (993-07-7)
安全性情報
- リスクと安全性に関する声明
- 危険有害性情報のコード(GHS)
| 絵表示（GHS） |
  
|
| 注意喚起語 |
|
| 危険有害性情報 |
| コード |
危険有害性情報 |
危険有害性クラス |
区分 |
注意喚起語 |
シンボル |
P コード |
| H220 |
極めて可燃性/引火性の高いガス |
可燃性/引火性ガス |
1 |
危険 |
|
P210, P377, P381, P403 |
| H315 |
皮膚刺激 |
皮膚腐食性/刺激性 |
2 |
警告 |
|
P264, P280, P302+P352, P321,P332+P313, P362 |
| H319 |
強い眼刺激 |
眼に対する重篤な損傷性/眼刺激 性 |
2A |
警告 |
|
P264, P280, P305+P351+P338,P337+P313P |
| H335 |
呼吸器への刺激のおそれ |
特定標的臓器毒性、単回暴露； 気道刺激性 |
3 |
警告 |
|
|
|
| 注意書き |
| P210 |
熱/火花/裸火/高温のもののような着火源から遠ざ けること。－禁煙。 |
| P280 |
保護手袋/保護衣/保護眼鏡/保護面を着用するこ と。 |
| P321 |
特別な処置が必要である（このラベルの．．． を見よ）。 |
|
トリメチルシラン 価格
| メーカー |
製品番号 |
製品説明 |
CAS番号 |
包装 |
価格 |
更新時間 |
購入 |
トリメチルシラン 化学特性,用途語,生産方法
種類
トリメチルシランは、主に工業用途向けに高圧ガス製品・液化ガス製品として販売されています。高圧ガス保安法における規定に基づき安全に取り扱うことが必須です。
容器温度は、40℃以下に保ち、直射日光の当たらない換気良好な乾燥した場所に保管する必要があります。引火しやすい気体であることから、周囲には火気、引火性、発火性物質を置かないようにしないとなりません。
用途
トリメチルシラン (trimethylsilane) 引火性が非常に大きい。プラズマ相のエッチング液として半導体工業で用いられる。
原理
1. トリメチルシランの合成方法
トリメチルシランの合成法では、トリメチルクロロシラン ((CH3)SiCl) を水素化剤などを用いて還元する方法が一般的です。具体的な方法として、下記が挙げられます。
- トリメチルクロロシランと (LiAlH4) とジメトキシエタン (DME) 溶媒中もしくは芳香族炭化水素系有機溶媒中で反応させる方法
- トリメチルクロロシランに (LiH) を反応させる方法
- トリメチルクロロシランにジエチルアルミニウムハイドライド ((C2H5)2AlH) を反応させる方法
2. トリメチルシランの化学的性質
トリメチルシランは、室温、大気圧下では安定していますが、500℃以上になると炭化ケイ素と水素に分解する可能性があります。自然発火性や水と激しく反応する性質、爆発性はありません。
前述の通り、常温で引火する可燃性の気体です。取り扱いの際は火気を避けることはもちろん、静電気対策も行う必要があります。尚、発火点は310℃です。
使用用途
トリメチルシランの主な使用用途は、半導体製造における成膜の原料です。例えば、プラズマCVD法において、低誘電率層間絶縁膜形成の原料ガスとしてトリメチルシランが使われています。具体的には、SiC、SiOC、SiO2、SiN膜などの材料に用いられます。
合成したトリメチルシランを半導体製造に用いるためには、精製により純度を高めることが不可欠です。代表的な不純物は、メチルシラン、ジメチルシラン、や、合成の過程で残存した未反応のクロロシランなどです。これらの不純物の除去のためには、蒸留操作・再結晶・再沈殿・昇華などを利用した一般的な精製方法が行われています。
その他にも、活性炭を利用する方法や吸収溶液でガスを洗浄する方法なども開発されてきています。これらは、より高効率な精製方法を志向したものです。吸収溶液を用いる方法においては、不純物を含むトリメチルシランをpH2からpH4の吸収溶液に接触させ、洗浄します。
概要
トリメチルシラン (Trimethylsilane) とは、有機ケイ素化合物の一つです。
化学式では C3H10Siと表記されます。他の慣用名には、トリメチルシリルヒドリド (trimethylsilyl hydride) があります。CAS登録番号は、993-07-7です。
分子量74.2、融点-135.9℃、沸点6.7℃であり、常温では無色の気体です。ほぼ無臭か、かすかに不快臭を呈します。密度は0.638g/cm3で、比重は2.6 (空気 = 1) となっており、空気より重い気体です。溶解性は不明ですが水と激しく反応する性質はありません。
引火点は-20℃以下とされており、常温で非常に引火しやすい物質です。自然発火性ではありませんが非常に燃えやすい性質を持っています。適用法令は高圧ガス保安法や大気汚染防止法などです。労働安全衛生法やPRTR法による規制は特にありません。
トリメチルシラン 上流と下流の製品情報
原材料
準備製品
セフテラム
アシクロビル
1,1,1,5,5,5-ヘキサメチル-3,3-ビス(トリメチルシロキシ)ペンタントリシロキサン
2-トリメチルシリルチオフェン
1,1,1,5,5,5-ヘキサメチル-3-フェニル-3-[(トリメチルシリル)オキシ]ペンタントリシロキサン
2-シラプロパン
クロロトリメチルシラン
トリメチルシラン 生産企業
Global( 62)Suppliers
トリメチルシラン スペクトルデータ(1HNMR、ESR)
993-07-7(トリメチルシラン)キーワード:
- 993-07-7
- Trimethylsilane,97%
- TRIMETHYLSILANE (IN CYLINDER)
- trimethylsilicon
- Trimethylsilyl hydride, 2-Methyl-2-silapropane
- SILICON TRIMETHYL
- TRIMETHYLSILANE
- (CH3)3SiH
- 2-Methyl-2-silapropane
- trimethyl-silan
- Trimethylsilane 99.9%
- Trimethylsilane 99.99%
- Silane, trimethyl-
- トリメチルシラン