二乙基硅烷

二乙基硅烷

中文名称二乙基硅烷
中文同义词二乙基硅烷;二乙基硅烷, 98+%
英文名称DIETHYLSILANE
英文同义词(C2H5)2SiH2;diethyl-silan;Silane, diethyl-;DIETHYLSILANE;Diethylsilanealso high purity;Diethylsilane, high purity min 99%;3-Silapentane;Diethylsilane,98+%
CAS号542-91-6
分子式C4H12Si
分子量88.22
EINECS号208-834-9
相关类别硅烷试剂;有机化工;Pharmaceutical Intermediates;Reduction;Si (Classes of Silicon Compounds);Si-H Compounds;Silicon Compounds (for Synthesis);Synthetic Organic Chemistry;Organometallic Reagents;Organosilicon;Others
Mol文件542-91-6.mol
结构式二乙基硅烷 结构式

二乙基硅烷 性质

熔点-132°C
沸点56 °C (lit.)
密度0.681 g/mL at 25 °C (lit.)
折射率n20/D 1.391(lit.)
闪点−20 °F
储存条件under inert gas (nitrogen or Argon) at 2-8°C
溶解度与四氢呋喃、乙醚、1,4-二恶烷和苯混溶。
形态液体
比重0.683
敏感性Air Sensitive
水解敏感性3: reacts with aqueous base
Merck14,3128
BRN1730902
CAS 数据库542-91-6(CAS DataBase Reference)
EPA化学物质信息Silane, diethyl- (542-91-6)

二乙基硅烷 用途与合成方法

二乙基硅烷作为沉积金属硅酸盐膜的硅源。一种形成作为电子器件中高k电介质的金属硅酸盐的方法,包括步骤:提供二乙基硅烷至反应区;同时提供氧源至该反应区;同时提供金属前驱体到该反应区;通过化学气相沉积使该二乙基硅烷、氧源和金属前驱体发生反应,以在包括该电子器件的衬底上形成金属硅酸盐。该金属优选为铪、锆或其混合物。该金属硅酸盐膜的介电常数可以基于膜中的金属、硅、和氧的相对原子浓度进行调节。二乙基硅烷是一种硅烷试剂,有文献报道其可用于制备沉积金属硅酸盐膜的硅源。

安全信息

危险品标志F
危险类别码11
安全说明16-23-24/25
危险品运输编号UN 1993 3/PG 2
WGK Germany1
TSCAYes
危险等级3
包装类别II

MSDS信息

提供商 语言
英文
中文
英文
更新日期产品编号产品名称CAS号包装价格
2024/01/16L16468二乙基硅烷, 98+%
Diethylsilane, 96+%
542-91-65g693元
2024/01/16L16468二乙基硅烷, 98+%
Diethylsilane, 96+%
542-91-625g3084元

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