钨腐蚀剂 基本信息
钨腐蚀剂 性质
用途
半导体和微电子学技术中用于钨薄膜金属喷镀的选择性蚀刻剂。该蚀刻剂是以铁氰化盐为基础的弱碱性缓冲制剂,可提供高分辨率图案,侧蚀最低,并且具有光致抗蚀剂相容性。通过浸渍或喷洒蚀刻技术可实现可控的均匀蚀刻。安全信息
危险品标志 | C |
---|---|
危险类别码 | 32-35 |
安全说明 | 26-36/37/39-45 |
危险品运输编号 | UN 3266 8 / PGIII |
WGK Germany | 3 |
危险品标志 | C |
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危险类别码 | 32-35 |
安全说明 | 26-36/37/39-45 |
危险品运输编号 | UN 3266 8 / PGIII |
WGK Germany | 3 |
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