双(叔丁基氨基)硅烷
中文名称 | 双(叔丁基氨基)硅烷 |
---|---|
中文同义词 | N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺;双(叔丁基氨基)硅烷,97+%BTBAS;双(叔丁胺)硅烷;双(叔丁基氨基)硅烷;双(叔丁氨基)硅烷;N,N'-二叔丁基二苯胺;N,N'-二叔丁基二苯胺 |
英文名称 | DI(T-BUTYLAMINO)SILANE |
英文同义词 | Dl(t-Butylamino)silane bis (tert-butylamino)silane;DI-(TERT-BUTYLAMINO)SILANE;N,N'-Bis(1,1-dimethylethyl)silanediamine;DI(T-BUTYLAMINO)SILANE;Bis(t-butylaMino)silane, 97+% BTBAS;BIS(T-BUTYLAMINO)SILANE;Bis(t-butylamino)silane, BTBAS (99.999%-Si) PURATREM;Silanediamine, N,N'-bis(1,1-dimethylethyl)- |
CAS号 | 186598-40-3 |
分子式 | C8H22N2Si |
分子量 | 174.36 |
EINECS号 | |
相关类别 | 硅烷试剂;化工原料 |
Mol文件 | 186598-40-3.mol |
结构式 |
双(叔丁基氨基)硅烷 性质
沸点 | 167°C |
---|---|
密度 | 0,816 g/cm3 |
折射率 | 1.4236 |
闪点 | 30°C |
酸度系数(pKa) | 11.91±0.70(Predicted) |
形态 | 液体 |
颜色 | 无色 |
比重 | 0.816 |
敏感性 | moisture sensitive, store cold |
水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
EPA化学物质信息 | Silanediamine, N,N'-bis(1,1-dimethylethyl)- (186598-40-3) |
双(叔丁基氨基)硅烷是(BTBAS)硅烷偶联剂的一种,BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体,可沉积均匀的氮化硅,可用于制备氮化硅薄膜,半导体器件和浅沟道隔离薄膜。
安全信息
TSCA | No |
---|