二氯二氧化钼(MoO₂Cl₂)在工业上是一种多功能无机化合物,凭借其催化活性、配位化学特性及稳定性,在多个领域发挥关键作用,具体用途如下:
1. 催化剂与催化剂前体
有机合成反应:
二氯二氧化钼是氧化、羰基还原、烯烃时空选择性加氢等反应的高效催化剂。例如:
催化醇氧化为醛/酮(如苯甲醇转化为苯甲醛);
促进酮类化合物还原为仲醇,提高反应选择性;
在烯烃加氢中表现优异,如将1-己烯转化为正己烷。
石油炼制:
作为加氢催化剂,加速石油中硫化物、氮化物的去除,降低燃料硫含量和氮含量,提升燃料清洁度,满足环保标准。
硫缩醛反应:
催化杂环、芳香族及脂肪族化合物的硫缩醛化,用于合成药物中间体。
Biginelli/Hantzsch反应:
催化二氢嘧啶酮/硫酮的合成,应用于抗高血压药物研发。
2. 半导体材料制备
钼前驱体材料:
通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、原子层沉积(ALD)等技术,二氯二氧化钼可转化为高质量钼氧化物薄膜,用于:
电子器件:如晶体管栅极、互连层;
传感器:提高灵敏度和稳定性;
光学器件:如光学涂层、太阳能电池。
7nm及以下先进制程:
随着环绕栅极晶体管(GAA)技术的广泛应用,金属钼(Mo)层逐步替代传统钨(W)和铜(Cu)层。二氯二氧化钼作为前驱体,通过CVD或ALD工艺沉积的钼薄膜具有:
分步沉积策略:
先用二氯二氧化钼沉积钼薄层,再沉积较厚的钨或钼层,可降低整体电阻,提高界面导电性和可靠性。
3. 染料与涂料添加剂
4. 其他钼化合物的原料
5. 工业催化与材料科学