中文名:六氯乙硅烷
英文名:Hexachlorodisilane
应用:六氯乙硅烷可以用作还原剂,六氯乙硅烷可以与氨结合通过化学气相沉积形成氮化硅;
纯度:≥98%(T)
货号:H157333
Cas号:13465-77-5
存储温度:-20°C储存,充氩
运输条件:超低温运输
产品介绍:
六氯乙硅烷(HCDS)是一种氯硅烷,可用作生产乙硅烷的前体。它是一种用于生产硅膜和氮化硅基膜的脱氧剂
应用:
HCDS可用于通过化学气相沉积(CVD)制备二氧化硅气凝胶,其有望用作封装剂和绝热体。它也可用于通过CVD合成1,1,1,2,2,2-六氨基乙硅烷,其可形成微电子应用的硅基薄膜。
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