光酸原材料:
化学放大胶的主要成分是聚合物树脂、光致酸产生剂(photo acid generator, PAG)以及相应的添加剂(additives)和溶剂。光致酸产生剂是一种光敏感的化合物,在光照下分解产生酸(H+)。在曝光后烘烤(PEB)过程中,这些酸会作为催化剂使得聚合物上悬挂的酸不稳定基团脱落,并产生新的酸。悬挂基团的脱落改变了聚合物的极性,有足够多的悬挂基团脱落后,光刻胶就能溶于显影液。图 1是光致酸产生剂在光子作用下产生酸;在 PEB 过程中,酸导致悬挂基团脱落,并生成一个新的酸分子(见图 1(b))。 tBOC 悬挂基团脱落后,聚合物树脂 PBOCST 就变成了亲水的PHOST 。
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