中文名称 氢氟酸
英文名称 Hydrogen fluoride
CAS号 7664-39-3
分子式 FH
分子量 20.01
EINECS号 231-634-8
熔点-35°C
沸点105°C
概述:电子级氢氟酸是微电子行业的关键性基础化工材料之一,是湿电子化学品中的一种,由于电子级氢氟酸的纯度和洁净度对集成电路的成品率、性能及可靠性都有着十分重要的影响,生产工艺技术要求很高,目前主要依靠进口产品满足国内市场需求。
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