中文名称: 全氟三丁胺
英文名称: Perfluorotributylamine
常用缩写: FC-43, PFTBA, FTBA
CAS号: 311-89-7
电子工业
半导体制造: 作为等离子体蚀刻和清洗工艺中的冷却剂和介质。其高热稳定性和化学惰性使其在剧烈的等离子体环境中性能稳定,不会分解污染晶圆。
热传导液: 用于半导体制造设备的温度控制。
医疗器械
因其高氧溶解度和生物惰性,曾作为携氧剂进行深入研究,虽然主流应用未普及,但仍是重要研究领域。
航空航天
密封剂、润滑剂: 用于需要极端化学惰性和宽温度范围的苛刻环境。
分析化学
质谱仪校准: 由于其明确的碎片离子模式,是真空系统中常用的校准标准物。
湖北星耀生物医药技术有限责任公司
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余志芹