1-(4-丁氧基-1-萘基)四氢-1H-噻吩-1-鎓全氟丁基磺酸盐是一种光致酸产生剂(PAG),主要应用于光刻胶领域。其核心功能是在紫外光照射下释放强酸,催化光刻胶中树脂的脱保护或交联反应,从而实现微纳米级图案的转移。主要应用场景半导体制造用于集成电路光刻工艺,通过高分辨率图案化实现芯片线路的精确加工。成都东凯芯半导体材料有限公司的专利显示,该化合物可通过低温反应(-5~5℃)高效合成,产物纯度达99%以上,且溶剂可循环利用,适合规模化生产。 光刻胶配方优化为PAG,其全氟丁基磺酸盐结构增强了酸释放效率和稳定性,适用于深紫外(DUV)或极紫外(EUV)光刻技术。
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