氟硅酸又称硅氟氢酸，无水物是无色气体。不稳定。易分解为四氟化硅和氟化氢。水溶液为无色透明的发烟液体。有刺鼻气味，易挥发。 可溶于水。有腐蚀性，能侵蚀玻璃。保存于蜡制或塑料制等容器中。浓溶液冷却时析出无色二水物的晶体，熔点19℃。氟硅酸有消毒性能。用于制氟硅酸盐和冰晶石，并用于电镀、啤酒消毒、木材防腐等。
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