- CAS号:7783-61-1
- 中文名:四氟化硅
- 英文名:Silicon tetrafluoride、Tetrafluorosilane
- 曾用名:氟化硅
- 保存温度:常温阴凉密封储存(钢瓶储运≤40℃,避免暴晒、高温环境)
- 分子式:SiF₄
- 属性:无色刺激性气味气体,易水解、遇水生成氢氟酸,属于卤代硅化物,危化品分类为加压气体+腐蚀性气体,有剧毒
- 用途:半导体硅源气、光纤制造原料、氟化物合成中间体、电子级硅化合物制备
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