. CAS号:无单一CAS号(核心组分硅烷CAS:7803-62-5;稀释气多为氮气CAS:7727-37-9/氩气CAS:7440-37-1)
2. 中文名:硅烷混合气;硅烷稀释混合气
3. 英文名:Silane mixture;Silane in inert gas(N₂/Ar)
4. 曾用名:硅烷惰性混合气、硅烷保护混合气
5. 保存温度:高压钢瓶常温密封储存,置于阴凉通风、≤30℃干燥环境,远离热源/火种/氧化剂
6. 分子式:无单一分子式,组分为SiH₄+N₂/Ar(常见SiH₄体积分数1%~10%,余为惰性稀释气)
7. 属性:无色无味有毒气体,属第2.1类易燃气体+第2.3类有毒气体,高压压缩气体,遇空气易自燃、遇水/氧化剂剧烈反应,具腐蚀性,稀释后燃爆风险降低
8. 用途:半导体工业的外延沉积、化学气相沉积(CVD)制备硅膜/硅化物;光伏行业制备晶硅薄膜、太阳能电池基材;平板显示行业的薄膜沉积;微电子器件的掺杂与刻蚀辅助气体
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