有机硅化合物:六甲基二硅氮烷,英文缩写HMDS,一种重要的有机硅化合物,最常用来增加光刻胶在品圆表面附着力的底漆层,易燃且燃点为6.7℃,当在空气中的浓度为0.8%-16%时具有爆炸性,HMDS会强烈地与水、酒精和矿物质酸反应释放出氨水NH3,生成六甲基二硅醚。在催化剂存在下,与醇或酚反应,生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应,放出NH3或NH4Cl,生成三甲基氯硅烷。
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