五氯化钽（TaCl₅，CAS 7721-01-9）分子式 Cl₅Ta、分子量 358.21，是钽的 + 5 价氯化物，由钽金属与氯气高温氯化或五氧化二钽与氯化剂反应制得，为钽化学的基础原料。物理性质上为白色至淡黄色单斜结晶粉末，熔点 216~221℃、沸点 242℃（可升华）、密度 3.68 g/mL（25℃）、高温蒸气压显著。溶解性方面遇水猛烈水解，释放氯化氢并生成 TaOCl₃、最终成五氧化二钽，溶于乙醚、四氯化碳、硫酸和氢氧化钾，微溶于乙醇。化学性质上为强亲电 Lewis 酸，类似 Friedel-Crafts 催化剂，吸湿性强、接触潮气即分解，禁配强碱、潮湿空气，遇潮腐蚀金属。储存须无水无氧密封（惰性气氛）、干燥防潮，远离强碱和可燃物。
基本信息
中文名：五氯化钽（氯化钽 (V)）
英文名：Tantalum (V) chloride；Tantalum pentachloride
别名：氯化钽、五氯化钽 (V)
分子式：TaCl₅
分子量：358.21
CAS：7721-01-9
EINECS：231-755-6；RTECS：WW5600000
物理化学性质
外观：白色至微黄色结晶性粉末 / 固体，强吸湿性
密度：3.68 g/cm³（25 ℃）；堆积密度约 2.4 g/cm³
熔点：约 216–221 ℃（口径 210–221 ℃ 不一）；沸点：约 233–242 ℃（常压）；可在干燥氯气或 CO₂ 中升华
蒸气压：69.9 hPa @169.3 ℃；闪点：不适用（无机物）
溶解性：溶于乙醚、四氯化碳、氯仿、丙酮及碱液（KOH 溶液）；微溶于乙醇 / 无水乙醇；遇水剧烈水解
主要用途（分领域）
应用领域 | 作用 | 典型场景 |
半导体 / 微电子（核心高端用途） | CVD/ALD 钽源前驱体 | TaN 阻挡层（先进制程芯片铜互连抗扩散）、金属钽导电层、Ta₂O₅ 高介电薄膜 |
第三代半导体 SiC | TaC 涂层前驱体 | 碳化硅长晶石墨坩埚等热场部件碳化钽涂层（六英寸成熟、八英寸刚需） |
钽金属 / 钽粉制备 | 还原制钽中间体 | 氢还原制金属钽、高 CV 钽粉、钽电容器、碳化钽中间体 |
光学 / 功能薄膜 | 镀膜材料前驱体 | 高折射率 Ta₂O₅ 光学镀膜、氧化钽涂层、铁电薄膜 |
有机合成 / 催化 | Lewis 酸催化剂 | Friedel-Crafts 反应、氯化反应、聚合催化 |
其他工业 | 功能材料原料 | 超级电容器、电解应用等 |
与相关产品对比（防混淆关键）
与五氯化铌（NbCl₅，CAS 10026-12-7）对比：钽铌同族、物性相近 ——高纯电子级 TaCl₅ 的关键指标即控制 Nb 杂质含量，钽铌分离是纯度核心。
与四氯化钛（TiCl₄，CAS 7550-45-0）对比：同为金属氯化物前驱体，TiCl₄ 用于 TiN/TiO₂ 体系；TaCl₅ 用于 TaN/Ta₂O₅—— 沉积工艺与目标薄膜不同。
与五氟化钽（TaF₅）对比：氟化物前驱体用于不同沉积路线，TaCl₅ 为氯化物主流。
安全信息（毒性与储存）
危险分类：8 类腐蚀性固体（酸性、无机）—— 中国《危险化学品目录》列入，信号词：危险（Danger）
GHS 分类（GESTIS / Thermo / 中文 SDS 口径）：皮肤腐蚀 1B（H314 严重皮肤灼伤和眼损伤）；严重眼损伤（H318）；急性毒性 - 经口 4（H302 吞食有害）；呼吸道刺激（H335）；对金属可能具腐蚀性（H290）
健康危害：遇水 / 湿气即释放 HCl—— 严重腐蚀皮肤、眼睛与呼吸道；吞食有害；粉尘吸入刺激；水解反应放热
防护：防化手套（丁基 / 氯丁橡胶）、护目镜 + 面屏、防酸防护服；防潮操作（惰性气氛手套箱 / 干燥环境）；作业场所强制通风
泄漏 / 接触：⚠ 严禁直接用水冲洗泄漏物（剧烈水解放热并生成 HCl 烟气）—— 用干燥砂土或惰性吸附剂围堵收集、防潮密闭处置；眼 —— 清水冲洗 ≥15 min 立即就医；皮肤 —— 脱污染衣物、大量冲洗就医；吸入 —— 移至新鲜空气、给氧就医
储存运输：严格密封防潮（氮气封存 / 干燥器）、阴凉干燥；远离水、湿气、醇类、碱类与还原剂；运输按 UN 3260
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