熔点67°C(153°F;340K)(pentahydrate)沸点decomposes密度~1.015g/cm3(20-25%aqueoussolution)蒸气压17.5mmHg(20°C)折射率n20/D1.3521闪点Notapplicable储存条件Storebelow+30°C.溶解度可溶于甲醇(少量)、水(少量)形态透明液体颜色无色至近无色气味(Odor)强烈的氨样气味PH值>13(H2O,20°C)水溶解性Solubleinwater.敏感性AirSensitiveMerck14,9224BRN3558708Henry'sLawConstant2.3×1010mol/(m3Pa)at25℃,HSDB(2015)稳定性稳定的。易燃。与强氧化剂、强酸不相容。InChI1S/C4H12N.H2O/c1-5(2,3)4;/h1-4H3;1H2/q+1;/p-1InChIKeyWGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-MSMILES[OH-].C[N+](C)(C)CCAS数据库75-59-2(CASDataBaseReference)EPA化学物质信息Tetramethylammoniumhydroxide(75-59-2)四甲基氢氧化铵用途与合成方法产品描述四甲基氢氧化铵(Tetramethylammoniumhydroxide,TMAH)又称为氢氧化四甲铵、四甲基氢氧化胺,无色至淡黄色液体,是最强的有机碱,极易吸潮,有一定的氨气味,在空气中能迅速吸收二氧化碳,在室温下其蒸汽压较低,在135~145℃完全分解气化,高纯品在140℃低温处理也无微量残渣。四甲基氢氧化铵溶液无色透明有微氨臭,1(wt)%溶液PH值为12.9,是与苛性碱同等强度的强碱。将四甲基氢氧化铵水溶液在减压下浓缩可得到5个结晶水的吸湿性针状结晶,再继续浓缩脱水变成3个结晶水的结晶,再变成1个结晶水的四甲基氢氧化铵,在135~140°C分解为三甲胺和二甲基醚,通常制10%、25%的水溶液。制备工艺四甲基氢氧化铵的制备方法很多,一般采用氧化银法,通过四甲基氯化铵与氧化银反应生成。但该法制备四甲基氢氧化铵的工艺复杂,原料氧化银价格昂贵,而且所得产品含较高的杂质离子,如卤素离子、碱金属离子等,用于有机硅单体催化聚合时,严重影响有机硅产品特性,更无法满足电子领域清洗和腐蚀的要求。国外从七十年代开始采用电解法制备四甲基氢氧化铵的新工艺,并逐步取代氧化银法。用电解法制得的产品质量较好,成本低,不仅能满足有机硅生产的需要,而且进入了电子工业领域。用途1.在有机硅方面,四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油,氨基硅油,苯甲基硅油,有机硅扩散泵油,无溶剂有硅模塑料,有机硅树脂,硅橡胶等的催化剂;2.在分析方面,四甲基氢氧化铵作为极谱试剂;3.在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素;4.在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。5.在电路板的印刷和显微镜片的制造中,可作为集成电路板的清洗剂和半导体微加工技术中si-sio2界面的各向异性腐蚀剂。6.用作CMP过程清洗剂,IC.vlsi及TFI-LCD正胶显影剂。用途在有机硅方面,作为二甲基硅油,苯甲基硅油,有机硅扩散泵油,无溶剂有硅模塑料,有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在分析方面,作为极谱试剂,在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素,在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。本产为有机硅聚合中的催化剂。其优点是:它具有强碱性,在不超过分解点的温度下稳定。超过分解点时迅速分解为三甲胺和甲醇。当催化完毕后很容易除掉,不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”。在分析中可用于极谱试及用来沉淀不含灰份的许多元素的氢化物。用途氨基硅油、201甲基硅油、硅橡胶等有机硅类产品聚合中的催化剂。当水溶液使用时,可用作合成RT培司催化剂,亦可用于聚酯类聚合物、纺织、皮革、木材加工、电子、电镀等行业,也是极谱实验支持液用途在电子行业中,广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等用途用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等用途用作极谱分析试剂
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