正硅酸四乙酯

价格	￥500.00
包装	2KG

最小起订量	2KG
发货地	上海
更新日期	2024-04-25

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产品详情

中文名称:正硅酸四乙酯	英文名称:Ethyl Silicat
CAS:78-10-4	纯度规格: 99.999999
产品类别: 化学品 ( Chemical )
产品编号: WE34	产品等级: 电子级
月产量: 5000

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正硅酸四乙酯/ TEOS

名称

正硅酸四乙酯(TEOS)

化学式

C8H20O4Si

相对分子量

208.33

CAS号

28767

理化性质

无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。

主要用途

主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。

典型应用

CVD类型

材料

APCVD

TEOS,O3

LPCVD

TEOS

PECVD

TEOS,O2

产品标准

项目Item

标准值Standard Value

项目Item

标准值Standard Value

纯度

99.999999% (8N)

铌（Nb）max

0.1ppb

铝（Al）max

0.2ppb

镍（Ni）max

关键字：正硅酸四乙酯 ( Ethyl Silicate )

公司简介

上海众巍是中国先进材料供应商。我们为国内外客户提供气体，化学品及相关产品服务，产品涉及各个工业领域，如钢铁，造船，半导体，光学纤维，医药，食品等。

成立日期	2015-01-05 （10年）	注册资本	5000000
员工人数	10-50人	年营业额	￥ 5000万-1亿
主营行业	特殊化学试剂,基础无机试剂,特种化学品	经营模式	贸易,工厂,试剂,定制,服务

上海众巍化学有限公司

VIP 8年

公司成立：10年
注册资本：5000000
企业类型：有限责任公司
主营产品：六氟乙烷，三氯化硼，氟甲烷，甲烷，乙烷，三氟化氮，六氟化钨，三氟化硼
公司地址：中国（上海）自由贸易试验区金海路1255号4幢三层A311室

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