4109-96-0
中文名称
二氯硅烷
英文名称
Dichlorosilane
CAS
4109-96-0
EINECS 编号
223-888-3
分子式
Cl2H2Si
MDL 编号
MFCD00011600
分子量
101.01
MOL 文件
4109-96-0.mol
4109-96-0 结构式
基本信息
中文别名
二氯硅烷三氯矽烷
电子级高纯二氯二氨硅
英文别名
DICHLOROSILANEDICHLOROSILANE 99
dichloro-silan
dichlorsilane
siliconchloridehydride
DICHLOROSILANE 227 G (IN LECTURE
DICHLOROSILANE, 99.99+%
DICHLOROSILANE 97+%
Silane,dichloro-
DICHLOROSILANE: 99.5%
DICHLOROSILANE: 25% IN XYLENE
dichlorosilane for high purity，electronic grade
所属类别
无机化工产品: 无机盐: Cv电子工业用无机化工产品物理化学性质
外观性质无色气体。
外观性状无色。易燃。有毒腐蚀性气体，具有刺激性臭味。熔点-122℃。沸点8.2℃。气体相对密度(空气=1)4.599；液体相对密度d4}-122>。1.42。临界温度176.3℃。蒸气压力(20℃，绝对压)0.15 Mpa。比容积(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空气中爆炸极限1.3％～98％。与水发生剧烈反应。在湿空气中水解，生成盐酸雾。有强腐蚀性。
溶解性溶于苯、乙醚等多数有机溶剂。
熔点−122 °C(lit.)
沸点8.3 °C(lit.)
密度1,22 g/cm3
蒸气密度3.5 (vs air)
蒸气压1254 mm Hg ( 20 °C)
闪点-37°C
溶解度reacts with H2O
形态无色气体
比重0.76
比重0.94
比重1.22
颜色colorless gas; flammable
爆炸极限值(explosive limit)99%
水溶解性decomposes
水解敏感性9: reacts extremely rapidly with atmospheric moisture - may be pyrophoric - glove box or sealed system required
稳定性稳定的。极易燃；注意非常宽的爆炸极限。与水、醇类、强氧化剂、碱类会急剧地发生反应。
EPA化学物质信息Dichlorosilane (4109-96-0)
安全数据
警示词危险
危险性描述H220-H280-H314-H331
危险品标志F+,T
危险类别码R12-R14-R23-R34
危险品运输编号UN 2189 2.3
WGK Germany1
RTECS号VV3050000
F4.5
TSCAYes
DOT Classification2.3 Hazard Zone B (Gas poisonous by inhalation)
危险等级2.3
应用领域
用途一
用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅用途二
用于半导体制造中，尤其是外延法工艺作为硅源。参考质量标准
参考标准▼
▲
指标名称
指标
电子级
硼(B)/(mg/kg)
＜0.3
磷(P)/(mg/kg)＜
0.3
四氯化硅(SiCl4)/%＜
0.1
三氯氢硅(SiHC13)/%＜
0.2