三乙基铟
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- CAS号:
- 923-34-2
- 英文名:
- triethylindium
- 英文别名:
- triethylindium;triethylindigane;Triethylindium(III)
- 中文名:
- 三乙基铟
- 中文别名:
- 三乙基铟
- CBNumber:
- CB7937361
- 分子式:
- C6H15In
- 分子量:
- 202.0013
- MOL File:
- 923-34-2.mol
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三乙基铟性质、用途与生产工艺
三乙基铟学式(C2H5)3In。分子量202.01。无色液体。熔点-32℃。沸点144℃。在空气中自燃。溶于有机溶剂。在苯溶液中呈单体。与冷水作用生成二乙基氢氧化铟和乙烷，与90℃热水作用则完全分解。
高纯三乙基铟是金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的铟源。在半导体工业中，它单独或与至少一种第五主族元素(主要是磷和砷)的气态氢化物沉积到合适的晶体基质上，可制成性能极其优良的半导体材料，在国外被广泛应用于电子工业中制造红外控测器、微波振荡器、半导体光发射二级管等的核心原件。
三乙基铟
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