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N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン

N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン 化学構造式
15112-89-7
CAS番号.
15112-89-7
化学名:
N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
别名:
N,N',N''-シラントリイルトリス(ジメチルアミン);N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン;トリス(ジメチルアミノ)シラン;N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン;N,N',N''-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン);N，N，N’，N’，N’’，N’’-ヘキサメチルシラントリアミン;TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99+%, 3DMAS (99.999%-SI) PURATREM, 14-8750, CONTAINED IN 50 ML SWAGELOK® CYLINDER (96-1070) FOR CVD/ALD;トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM;トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD;N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン;N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリアミン;N,N′,N′′-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン);N,N′,N′′-シラントリイルトリス(ジメチルアミン);[ビス(ジメチルアミノ)シリル]ジメチルアミン
英語名:
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
英語别名:
TDMAS;3DMAS;DK087;LS 1460;amino)siL;(Me2N)3SiH;3DMAS : [(CH3)2N]3SiH;Tris(dimethyamino)silane;Tri(dimethylamino)silane;TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CBNumber:
CB1241150
化学式:
C6H19N3Si
分子量:
161.32
MOL File:
15112-89-7.mol
MSDS File:
SDS

N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン 物理性質

融点 :
<0°C
沸点 :
145 °C
比重(密度) :
0,838 g/cm3
屈折率 :
1.4247
闪点 :
25°C
酸解離定数(Pka):
10.93±0.70(Predicted)
外見 :
液体
色:
無色～淡黄色
比重:
0.84
Sensitive :
air sensitive, moisture sensitive
Hydrolytic Sensitivity:
8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
EPAの化学物質情報:
N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7)
安全性情報
  • リスクと安全性に関する声明
  • 危険有害性情報のコード(GHS)
主な危険性  F,C
Rフレーズ  10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11
Sフレーズ  16-26-36/37/39-45-43
RIDADR  1993
WGK Germany  3
RTECS 番号 VV5800000
TSCA  Yes
毒性 rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989.
絵表示（GHS） GHS hazard pictogramsGHS hazard pictogramsGHS hazard pictograms
注意喚起語 危険
危険有害性情報
コード 危険有害性情報 危険有害性クラス 区分 注意喚起語 シンボル P コード
H225 引火性の高い液体および蒸気 引火性液体 2 危険 GHS hazard pictograms P210,P233, P240, P241, P242, P243,P280, P303+ P361+P353, P370+P378,P403+P235, P501
H261 水に触れると可燃性/引火性ガスを発生 水反応可燃性化学品 2
3		 危険
警告		 GHS hazard pictograms P231+P232, P280, P370+P378,P402+P404, P501
H302 飲み込むと有害 急性毒性、経口 4 警告 GHS hazard pictograms P264, P270, P301+P312, P330, P501
H311 皮膚に接触すると有毒 急性毒性、経皮 3 危険 GHS hazard pictograms P280, P302+P352, P312, P322, P361,P363, P405, P501
H314 重篤な皮膚の薬傷?眼の損傷 皮膚腐食性/刺激性 1A, B, C 危険 GHS hazard pictograms P260,P264, P280, P301+P330+ P331,P303+P361+P353, P363, P304+P340,P310, P321, P305+ P351+P338, P405,P501
H330 吸入すると生命に危険 急性毒性、吸入 1, 2 危険 GHS hazard pictograms P260, P271, P284, P304+P340, P310,P320, P403+P233, P405, P501
注意書き
P210 熱/火花/裸火/高温のもののような着火源から遠ざ けること。－禁煙。
P231+P232 湿気を遮断し、不活性ガス下で取り扱うこと。
P280 保護手袋/保護衣/保護眼鏡/保護面を着用するこ と。
P303+P361+P353 皮膚（または髪）に付着した場合：直ちに汚染された衣 類をすべて脱ぐこと/取り除くこと。皮膚を流水/シャワー で洗うこと。
P305+P351+P338 眼に入った場合：水で数分間注意深く洗うこと。次にコ ンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外す こと。その後も洗浄を続けること。

N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン 価格 もっと(8)

メーカー 製品番号 製品説明 CAS番号 包装 価格 更新時間 購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako) W01SRM14-8750 トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM 		15112-89-7 25g ￥92000 2024-03-01 購入
Sigma-Aldrich Japan 759562 トリス(ジメチルアミノ)シラン packaged for use in deposition systems
Tris(dimethylamino)silane packaged for use in deposition systems		 15112-89-7 25g ￥127000 2024-03-01 購入
Sigma-Aldrich Japan 570133 トリス(ジメチルアミノ)シラン electronic grade, 99.999%
Tris(dimethylamino)silane electronic grade, 99.999%		 15112-89-7 25g ￥27200 2024-03-01 購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako) W01SRM14-8750 トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM 		15112-89-7 5g ￥32300 2024-03-01 購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako) W01SRM98-4035 Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD
Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD 		15112-89-7 25g ￥265200 2021-03-23 購入

N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン 化学特性,用途語,生産方法

使用

Tris(dimethylamino)silane (TDMAS) is used as an organosilicon source for the deposition of Si oxynitride; carbonitride; nitride and oxide thin films. It is also used to form multicomponent silicon containing thin films. The depositions can be carried out at low substrate temperatures (<150). The melting point and vapor pressure of TDMAS is in a suitable working range; thus making it a very good vapor deposition precursor.

一般的な説明

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N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン 上流と下流の製品情報

原材料

準備製品

N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン 生産企業

Global( 89)Suppliers
名前 電話番号 電子メール 国籍 製品カタログ 優位度
Shanghai Daken Advanced Materials Co.,Ltd 		+86-371-66670886
info@dakenam.com China 15932 58
ATK CHEMICAL COMPANY LIMITED 		+undefined-21-51877795
ivan@atkchemical.com China 32480 60
Win-Win Chemical CO., Limited 		0086-577-64498589
sales@win-winchemical.com CHINA 998 58
Hubei Jusheng Technology Co.,Ltd. 		18871490254
linda@hubeijusheng.com CHINA 28180 58
career henan chemical co 		+86-0371-86658258 15093356674;
 factory@coreychem.com China 29826 58
Hubei Co-Formula Material Tech Co., Ltd. 		+86-27-84459282
sales@cfmats.com CHINA 882 58
Shaanxi Dideu Medichem Co. Ltd 		18192627656
 1012@dideu.com China 3269 58
Fuxin Pharmaceutical 		+86-021-021-50872116 +8613122107989
 contact@fuxinpharm.com China 10297 58
Antai Fine Chemical Technology Co.,Limited 		18503026267
 info@antaichem.com CHINA 9641 58
Hefei TNJ Chemical Industry Co.,Ltd. 		0551-65418671
sales@tnjchem.com China 34572 58

15112-89-7(N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン)キーワード:

メチリジントリス(トリメチルシラン) トリス(ジベンジリデンアセトン)ジパラジウム(0) トリス(ジメチルアミド)アルミニウム(III) トリス(ジメチルアミド)ガリウム(III) トリス(ジベンジリデンアセトン)(クロロホルム)ジパラジウム(0) トリス(ジメチルアミド)アンチモン(III) N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン トリス(ジメチルアミノ)(フェニル)シラン テトラ(ジメチルアミノ)シラン テトラキス(ジエチルアミノ)シラン トリス(ジメチルアミノ)エチルシラン 1,2-ビス[トリス(ジメチルアミノ)シリル]エタン (ヘプタデカフルオロ-1,1,2,2-テトラヒドロドデシル)トリス(ジメチルアミノ)シラン メチルトリス(ジメチルアミノ)シラン クロロトリ(ジメチルアミノ)シラン
  • 15112-89-7
  • TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
  • n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethyl-silanetriamin
  • n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethylsilanetriamine
  • N,N,N’,N’,N’’,N’’-hexamethyl-Silanetriamine
  • TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE 99+%
  • N,N',N''-(Silanetriyl)tris(dimethylamine)
  • N,N',N''-Silanetriyltris(dimethylamine)
  • TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99.9+%
  • Tris(diMethylaMino)silane, 99+%, 14-8750, contained in 50 Ml Swagelok cylinder (96-1070) for CVD/ALD
  • (Me2N)3SiH
  • TDMAS
  • Tris(dimethylamido)silane
  • Tris(dimethylamino)silane electronic grade, 99.999%
  • Tris(dimethylamino)silane packaged for use in deposition systems
  • Tris(dimethyamino)silane
  • N,N,N',N',N'',N''-hexamethyl-Silanetriamine tris(Dimethylamino)silane n,n,n',n',n'',n''-hexamethylsilanetriamine n,n,n',n',n'',n''-hexamethyl-silanetriamin Silanetriamine,N,N,N',N',N'',N''-hexamethyl-
  • Tri(dimethylamino)silane
  • LS 1460
  • Tris(dimethylamino)silane, 99+% 3DMAS
  • 3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
  • Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
  • Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok(R) cylinder (96-1070) for CVD/ALD
  • Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok cylinder (96-1070) for CVD/ALD
  • 3DMAS
  • Tris(dimethylamino)silane Liquid
  • amino)siL
  • Silanetriamine, N,N,N',N',N'',N''-hexamethyl-
  • Tris(dimethylamino)silane 3DMAS
  • TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE ISO 9001：2015 REACH
  • DK087
  • N,N',N''-シラントリイルトリス(ジメチルアミン)
  • N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン
  • トリス(ジメチルアミノ)シラン
  • N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
  • N,N',N''-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン)
  • N，N，N’，N’，N’’，N’’-ヘキサメチルシラントリアミン
  • TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99+%, 3DMAS (99.999%-SI) PURATREM, 14-8750, CONTAINED IN 50 ML SWAGELOK® CYLINDER (96-1070) FOR CVD/ALD
  • トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
  • トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD
  • N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン
  • N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリアミン
  • N,N′,N′′-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン)
  • N,N′,N′′-シラントリイルトリス(ジメチルアミン)
  • [ビス(ジメチルアミノ)シリル]ジメチルアミン
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