N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯
| 中文名称 | N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯 |
|---|---|
| 中文同义词 | 甲磺酸, 1,1,1-三氟-, 1,3-二氧代-1H-BENZ[DE]异喹啉-2(3H)-基 酯;N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯;N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸;N-羟基-1,8-萘二甲酰亚胺三氟甲烷磺酸酯;1,3-二氧代-1H-苯并[DE]异喹啉-2(3H)-基三氟甲磺酸酯;N-(三氟甲基磺酸基)-1,8-萘二甲酰亚胺;光产酸剂 V;N-羟基萘酰亚胺三氟磺酸酯 |
| 英文名称 | N-Hydroxynaphthalimide triflate |
| 英文同义词 | NHN-TF;N-Hydroxynaphthalimide triflate electronic grade, >=99%;N-HYDROXYNAPHTHALIMIDE TRIFLATE 99+%;N-HYDROXYNAPHTHALIMIDE TRIFLATE, 99+%, E;1,3-dioxo-1H-benzo[de]isoquinolin-2(3H)-yl trifluoroMethanesulfonate;Methanesulfonic acid, 1,1,1-trifluoro-, 1,3-dioxo-1H-benz[de]isoquinolin-2(3H)-yl ester;N-Hydroxynaphthalimide Triflate 85342-62-7;(1,3-dioxobenzo[de]isoquinolin-2-yl) trifluoromethanesulfonate |
| CAS号 | 85342-62-7 |
| 分子式 | C13H6F3NO5S |
| 分子量 | 345.25 |
| EINECS号 | |
| 相关类别 | 光电类;光致抗蚀剂材料 |
| Mol文件 | 85342-62-7.mol |
| 结构式 |  |
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯 性质
| 熔点 | 212.1-214.2 °C |
|---|---|
| 沸点 | 456.2±55.0 °C(Predicted) |
| 密度 | 1.76±0.1 g/cm3(Predicted) |
| 储存条件 | 2-8°C |
| 溶解度 | 在PGMEA中的溶解度为1% |
| 形态 | 粉末晶体 |
| 颜色 | 白色至浅黄色至浅橙色 |
| InChIKey | LWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-N |
| CAS 数据库 | 85342-62-7 |
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯(HNT)是一种光酸发生器(PAG)，在紫外线照射下形成酸，可用于生成图案结构。它还可以通过形成酸键来调节聚合物的溶解度。
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯可以用来形成有图案的纳米颗粒，在半导体器件的体积制造中找到潜在的应用。它还可用于沸石的光响应性孔重开，有利于气体渗透过程的调节。紫外辐照三甲基硅基超薄纤维素基薄膜可以在HNT存在下形成PAG。
取10.0 g (0.051 mol)萘酸酐、3.9 g (0.056 mol)盐酸羟胺和80 ml吡啶的混合物，在100℃下搅拌10小时。冷却至室温后，将反应溶液倒入1N盐酸中，过滤回收沉淀。所得沉淀物5.0 g溶解于吡啶(50 ml)中，在0℃搅拌时，将8.3 g (0.026 mol)合成的二(五氟乙基)膦酰氯滴入其中。25℃搅拌2小时后，用二氯甲烷-水萃取反应溶液，减压除去有机层，除去溶剂，得到橙色固体。用乙腈重结晶得到白色固体5.3 g, 0.01 mol)。在三氟甲烷磺酸中加入双(五氟乙基)膦酰氯，用酸酐(7.3 g, 0.028 mol)代替酸酐，得到粗产物N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯(7.0 g, 0.020 mmol)。
安全信息
| 安全说明 | 22-24/25 |
|---|---|
| WGK Germany | 3 |
| 更新日期 | 产品编号 | 产品名称 | CAS号 | 包装 | 价格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2024/01/16 | XW028534262704 | 1,3-二氧代-1H-苯并[DE]异喹啉-2(3H)-基三氟甲磺酸酯 | 85342-62-7 | 25G | 877元 |
| 2024/01/16 | H1136 | N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯 N-Hydroxynaphthalimide Trifluoromethanesulfonate | 85342-62-7 | 250mg | 80元 |