双(叔丁基氨基)硅烷

双(叔丁基氨基)硅烷

中文名称双(叔丁基氨基)硅烷
中文同义词N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺;双(叔丁基氨基)硅烷,97+%BTBAS;双(叔丁胺)硅烷;双(叔丁基氨基)硅烷;双(叔丁氨基)硅烷;N,N'-二叔丁基二苯胺
英文名称DI(T-BUTYLAMINO)SILANE
英文同义词Dl(t-Butylamino)silane bis (tert-butylamino)silane;DI-(TERT-BUTYLAMINO)SILANE;N,N'-Bis(1,1-dimethylethyl)silanediamine;DI(T-BUTYLAMINO)SILANE;Bis(t-butylaMino)silane, 97+% BTBAS;BIS(T-BUTYLAMINO)SILANE;Bis(t-butylamino)silane, BTBAS (99.999%-Si) PURATREM;Silanediamine, N,N'-bis(1,1-dimethylethyl)-
CAS号186598-40-3
分子式C8H22N2Si
分子量174.36
EINECS号
相关类别硅烷试剂;化工原料
Mol文件186598-40-3.mol
结构式双(叔丁基氨基)硅烷 结构式

双(叔丁基氨基)硅烷 性质

沸点167°C
密度0,816 g/cm3
折射率1.4236
闪点30°C
酸度系数(pKa)11.91±0.70(Predicted)
形态液体
颜色无色
比重0.816
敏感性moisture sensitive, store cold
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
EPA化学物质信息Silanediamine, N,N'-bis(1,1-dimethylethyl)- (186598-40-3)

双(叔丁基氨基)硅烷 用途与合成方法

双(叔丁基氨基)硅烷是(BTBAS)硅烷偶联剂的一种,BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体,可沉积均匀的氮化硅,可用于制备氮化硅薄膜,半导体器件和浅沟道隔离薄膜。

安全信息

TSCANo

MSDS信息

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