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15112-89-7

中文名称 三(二甲胺基)硅烷
英文名称 TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS 15112-89-7
分子式 C6H19N3Si
分子量 161.32
MOL 文件 15112-89-7.mol
更新日期 2024/02/21 14:24:33
15112-89-7 结构式 15112-89-7 结构式

基本信息

中文别名
三(二甲胺)硅
三(二甲胺基)硅烷
三(二甲氨基)硅烷
三(二甲基氨基)硅烷
N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺
英文别名
TDMAS
3DMAS
LS 1460
amino)siL
(Me2N)3SiH
3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
Tris(dimethyamino)silane
Tri(dimethylamino)silane
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
Tris(dimethylamido)silane
所属类别
有机原料:无环单胺、多胺及其衍生物和盐

物理化学性质

熔点<0°C
沸点145 °C
密度0,838 g/cm3
折射率1.4247
闪点25°C
酸度系数(pKa)10.93±0.70(Predicted)
形态液体
比重0.84
颜色无色至淡黄色
敏感性对空气敏感,湿气敏感
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents

安全数据

危险性符号(GHS)
GHS02,GHS05,GHS06
警示词危险
危险品标志F,C
危险品运输编号1993
WGK Germany3
RTECS号VV5800000
TSCAYes

常见问题列表

产品特性
相关的研究表明,三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压,而且表现出了相当高的反应性,所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。 
制备
一种三(二甲胺基)硅烷的制备方法,包括如下步骤:在惰性气氛保护下,在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂,然后向体系中加入有机锂化合物,制得二甲胺的锂盐;向体系中加入三氯硅烷;反应结束后进行蒸馏,得到三(二甲胺基)硅烷。
"15112-89-7" 相关产品信息
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