542-91-6
中文名称
二乙基硅烷
英文名称
DIETHYLSILANE
CAS
542-91-6
EINECS 编号
208-834-9
分子式
C4H12Si
MDL 编号
MFCD00039877
分子量
88.22
MOL 文件
542-91-6.mol
更新日期
2023/03/20 19:41:19
542-91-6 结构式
基本信息
中文别名
二乙基硅烷二乙基硅烷, 98+%
英文别名
DIETHYLSILANEDiethylsilanealso high purity
(C2H5)2SiH2
diethyl-silan
Silane, diethyl-
Diethylsilane,98+%
Diethylsilane,97%
Diethylsilane,highpuritymin99%
所属类别
化学试剂：硅烷物理化学性质
熔点-132°C
沸点56 °C(lit.)
密度0.681 g/mL at 25 °C(lit.)
折射率n20/D 1.391(lit.)
闪点−20 °F
储存条件under inert gas (nitrogen or Argon) at 2-8°C
溶解度与四氢呋喃、乙醚、1,4-二恶烷和苯混溶。
形态液体
比重0.683
敏感性空气敏感
水解敏感性3: reacts with aqueous base
Merck14,3128
BRN1730902
EPA化学物质信息Silane, diethyl- (542-91-6)
常见问题列表
简介
二乙基硅烷作为沉积金属硅酸盐膜的硅源。一种形成作为电子器件中高k电介质的金属硅酸盐的方法，包括步骤：提供二乙基硅烷至反应区；同时提供氧源至该反应区；同时提供金属前驱体到该反应区；通过化学气相沉积使该二乙基硅烷、氧源和金属前驱体发生反应，以在包括该电子器件的衬底上形成金属硅酸盐。该金属优选为铪、锆或其混合物。该金属硅酸盐膜的介电常数可以基于膜中的金属、硅、和氧的相对原子浓度进行调节。用途
二乙基硅烷是一种硅烷试剂，有文献报道其可用于制备沉积金属硅酸盐膜的硅源。知名试剂公司产品信息
Alfa Aesar
二乙基硅烷,98+%Diethylsilane, 98+%(542-91-6)
Sigma Aldrich
542-91-6(sigmaaldrich)TCI Shanghai
二乙基硅烷Diethylsilane,>94.0%(GC)(542-91-6)