7803-62-5
中文名称
硅烷
英文名称
Silicon tetrahydride
CAS
7803-62-5
分子式
H4Si
分子量
32.12
MOL 文件
7803-62-5.mol
更新日期
2024/04/24 10:33:32
7803-62-5 结构式
基本信息
中文别名
甲硅烷四氢化硅
硅烷
甲矽烷
RB-602硅烷偶联剂
RB-902硅烷偶联剂
英文别名
SILANESILICON TETRAHYDRIDE
flots100sco
Monosilane
SiH4
Silicane
Silicon hydride
Silicon hydride (SiH4)
tetrahydrure
tetrahydruredesilicium
Silaneinnitrogen
SILANE, 99.998+%, ELECTRONIC GRADE
Silicon tetyahydride
SilaneGAS(Silicontetrahydride)
SILANE: 15-17% IN NITROGEN
15-17% IN NITROGEN
methylsilicane
Silicon tetrahydride (Silane)
Silane coupler RB-602
Silane coupler RB-902
所属类别
有机原料：有机硅化合物物理化学性质
外观性质无色气体，有恶臭。
溶解性溶于苯、四氯化碳。
熔点-185 °C
沸点-112 °C
密度1.114 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸气密度1.1 (vs air)
蒸气压100kPa at 20℃
溶解度reacts with H2O; insoluble in ethanol,benzene
形态无色气体
比重0.680
颜色colorless gas; flammable
气味 (Odor)repulsive odor
水溶解性decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93]
水解敏感性10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required
用途用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等
用途用于制造集成电路、太阳能电池、涂膜反射玻璃等
Merck13,8562
暴露限值TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m3) (ACGIH).
EPA化学物质信息Silane (7803-62-5)
安全数据
警示词危险
危险性描述H220-H280
危险品标志F+,Xn
危险类别码12-17-20
安全说明9-16-33-36/37/39
危险品运输编号UN 2203 2.1
WGK Germany1
RTECS号VV1400000
TSCAYes
DOT Classification2.1 (Flammable gas)
危险等级2.1
常见问题列表
理化性质
硅烷是指的是碳烷烃的硅取代类似物。构成硅烷烃的是一条硅原子链接形成的主链和以共价键链接在主链上的氢原子。硅烷是具有特殊气味的无色气体，比空气重。
应用
四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域，其主要用做生产液晶 TFT、太阳能电池、半导体、感光体材料等。近几年，由于我国集成电路产业发展迅速，超大规模或大规模集成电路在国有很大的发展空间，这将使四氢化硅的消费量日益增长。同时，由于太阳能市场的繁荣仍将持续，据预测，从2010年至2020年，全球四氢化硅市场将以年均20%的速率增长。四氢化硅是一种重要的特种气体，是一个国家气体产业是否先进的重要标志。我国作为经济迅速发展的大国，每年消耗的多晶硅将近4000吨左右，每年消耗的四氢化硅约为200～300吨，有较大的接触人群。