三氯硅烷是具有刺鼻气味的无色挥发性的发烟液体。加热时，分解。 生成含有氯化氢的有毒、腐蚀性烟雾。 与水，强氧化剂，强酸和碱类急剧地发生反应。生成氯化氢。有水存在时，浸蚀很多金属。其蒸汽比空气重，可能沿地面流动，造成远处着火。
性质
三氯硅烷为无色有刺激腥臭味的液体。遇水分解，溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等。易燃，在空气中能自燃。有毒！
它可以和烯烃发生加成反应。乙烯的氢硅烷化反应如下：
Cl3Si-H + H2C=CH2 → Cl3Si-CH2-CH3
这一反应通过H2PtCl6、Co2(CO)8、Ni(cod)2、NiCl2(PPh3)2或RhCl(PPh3)3之类的催化剂催化。
制备
经干燥的硅粉在氯化沸腾炉中与干燥氯化氢气体在340°C下进行反应，生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅，再经冷凝，得成品。利用硅铁和HCl的反应也可以得到产物。
用途
三氯硅烷用作有机硅化合物的原料，也是生产多晶硅的基本原料。它在有机合成中也可以用于将非末端烯烃转化为末端烯烃。