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超纯水的制备

发布日期:2022/7/6 15:10:45

背景及概述[1]

超纯水又称UPW水,是指电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。超纯水是为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,其电阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm极限值(25℃)。简单得说就是几乎去除氧和氢以外所有离子的水。

超纯水可以在以下领域使用:(1)电子、电力、电镀、照明实验、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。(2)化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。(3)单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。(4)高压变电器的清洗等。

制备[1-3]

报道一、

一种新型超纯水处理工艺,包括如下步骤:(1)预处理:将自来水或普通去离子水中的 机械杂质滤除;(2)活性炭过滤:经预处理后的水进行活性炭吸附;(3)反渗透膜过滤:经活 性炭吸附处理后的水用反渗透膜进行反渗透处理;(4)EDI处理:通过电去离子处理深度除 盐后得到第一超纯水;(5)紫外线杀菌:将EDI处理后得到的第一超纯水经紫外线照射处理; (6)微滤处理:经紫外线照射处理后的水用微滤膜过滤器进行过滤,得到第二超纯水。

报道二、

原水经过预处理设施1预处理后,经过高压泵2加压,由管 道供给反渗透膜组4,去除水中的溶解盐类,同时去除一些大分子和前阶段 未去除的小颗粒等。其功能是对预处理的生产水进行预脱盐。由盐酸加药系 统8将盐酸加入到由反渗透膜经过预脱盐的预处理水中,使得预处理水的pH 值为6,加入盐酸的目的是利用加酸把碳酸氢根、碳酸根转化为碳酸,预处 理水经过脱气装置5进行二氧化碳的脱除。经过脱气装置5后,水中的二氧 化碳气体大部分被除去,残余的溶于水的二氧化碳气体即碳酸,被氢氧化钠 加药系统9加入的氢氧化钠转化为碳酸氢根,加入氢氧化钠的量为每升水中 0.5mg;经由电除盐器(EDI)6,利用电除盐器中电场加以脱除,从而获得 电阻率更高的工业超纯水。电除盐器产水经过超纯水使用管道球阀7送至用水点。

参考文献

[1] [中国发明] CN201910238925.2 一种超纯水处理工艺

[2] [中国发明] CN201711419706.1 一种新型超纯水处理工艺

[3] [中国发明,中国发明授权] CN200410067945.1 一种工业超纯水的制备工艺

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