制备
三(三甲基硅基)膦可以由三甲基氯化硅、白磷和钠钾合金反应而成：
1/4 P4 + 3 Me3SiCl + 3 K → P(SiMe3)3 + 3 KCl
其它方法也是已知的。
化学反应
三(三甲基硅基)膦水解成磷化氢：
P(SiMe3)3 + 3H2O → PH3 + 3 HOSiMe3
酰氯和三(三甲基硅基)膦反应，产生磷杂乙炔化物，例如制备叔丁基磷杂乙炔。
它和叔丁醇钾反应，断掉一根 P-Si 键：
P(SiMe3)3 + KO-t-Bu → KP(SiMe3)2 + Me3SiO-t-Bu
危险性
三(三甲基硅基)膦在空气中自燃，所以要使用空气隔绝技术存放。