硅酸四甲酯（TMOS）又称正硅酸甲酯、四甲氧基硅烷，化学式为C4H12O4Si，是一种有机化合物。硅酸四甲酯外观呈无色液体，含刺激性气味，具有易潮解、易燃等特性，可混溶于多数有机溶剂，不溶于水。硅酸四甲酯属于有机硅源，在光学玻璃、电子电气、有机硅合成、精密铸造等领域应用较多。
应用
硅酸四甲酯在光学玻璃、电子电气、建筑、有机硅合成、精密铸造等领域拥有广阔应用前景。在光学玻璃领域，硅酸四甲酯可用于生产凝结剂及处理剂；在电子电气领域，硅酸四甲酯可用于制备有机硅胶粘剂，在电子元器件制造过程中应用较多；在建筑领域，硅酸四甲酯可用于生产有机硅气凝胶，保温板材、绝缘管道等为其终端产品。
制备
硅酸四甲酯主要制备方法包括硅粉直接法、四氯化硅法、烷氧基硅烷酯化法以及氟硅酸钠法四种。硅粉直接法指以甲醇和硅粉为主要原材料，使二者直接反应制得硅酸四甲酯，该法具有成品质量好、生产效率高等优势，适合进行连续化生产。但目前，海外企业对于硅粉直接法制备硅酸四甲酯实施技术垄断，导致我国硅酸四甲酯行业发展受限。