甲基三氯硅烷（Methyltrichlorosilane）是一种无机硅化合物，具有一个硅原子和三个氯原子，化学式为CH3SiCl3。它主要用于硅材料的制备和半导体工业中。
三甲基氯硅烷，也称氯化三甲基硅烷，液体，闪点-18℃，熔点-57.7℃，沸点57℃，易燃能爆炸。
货物有以下危险性质：
◆遇到水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气
◆燃烧生成有害的一氧化碳、氧化硅、氯化氢。
用途
三甲基氯硅烷在化学合成及药物合成中被广泛用于羟基、氨基、羧基等官能团的保护基，还可在石油生产等工艺中用作有机硅高分子聚合物的封口剂，起到调节高聚物分子量的作用。在化学合成中，三甲基氯硅烷完成保护作用后被解离，得到副产物六甲基硅氧烷。因此，如何将六甲基硅氧烷转化为三甲基氯硅烷，进行重复使用，是降低生产成本的重要措施。
制备
由六甲基二硅氧烷制备三甲基氯硅烷时，首先依次将二氯甲烷、六甲基二硅氧烷、双（三氯甲基）碳酸酯（BTC）和催化剂投入反应瓶中，搅拌，降温；控温0~10℃，向反应瓶中滴加DMF，用时30±10分钟；升温至30~42℃，进行反应，用气相色谱（GC）检测反应程度，直至反应结束；减压精馏采出三甲基氯硅烷和二氯甲烷，之后，将剩余反应液降温，依次向其中加入二氯甲烷、六甲基硅氧烷和BTC，重复前述操作，进行下一批实验。
该反应的方程式如下：
3(CH3)3SiOSi(CH3)3+ CCl3OCOOCCl3 →6 (CH3)3SiCl + 3CO2↑
向带有回流冷凝器的反应瓶中加入20ml二氯甲烷、20ml六甲基二硅氧烷、12.5gBTC和0.2g四丁基溴化铵，搅拌溶解；降温至0~10℃，向反应瓶中滴加8ml DMF，用时20min；升温至32±2℃，反应17小时；GC检测六甲基二硅氧烷的转化率＞99%；将回流冷凝器改为精馏柱，于30~35℃减压精馏，得到~20ml二氯甲烷和23.3ml三甲基氯硅烷。GC检测三甲基氯硅烷的含量为99.5%。