氟化丁基新闻专题

氟化丁基的制备方法

氟化丁基是一种氟化烷烃。氟化烷烃被用作等离子反应用气体、含氟医药中间体、制冷剂·制热剂等介质。特别是在使用等离子反应的半导体装置的制造领域中，高纯度化的氟化烷烃被良好地用作等离子蚀刻气体、化学气相沉积法(CVD)用气体等。

2020/9/11 9:22:53 阅读量：72