双(二乙基氨基)硅烷
| 中文名称 | 双(二乙基氨基)硅烷 |
|---|---|
| 中文同义词 | 双(二乙氨基)二氢硅烷;双(二乙基氨基)硅烷;双(二乙氨基)硅烷;N,N,N',N'-四乙基硅烷二胺 |
| 英文名称 | Bis(diethylamino)silane |
| 英文同义词 | SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl;BIS(DIETHYLAMINO)SILANE;Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS;SilanediaMine, N,N,N',N'-tetraethyl-;BDEAS;Bis(diethylamino) Silane Liquid;Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM;BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2 |
| CAS号 | 27804-64-4 |
| 分子式 | C8H22N2Si |
| 分子量 | 174.36 |
| EINECS号 | |
| 相关类别 | |
| Mol文件 | 27804-64-4.mol |
| 结构式 |  |
双(二乙基氨基)硅烷 性质
| 沸点 | 70°C (30mm) |
|---|---|
| 密度 | 0.804 |
| 形态 | 液体 |
| 酸度系数(pKa) | 10.31±0.70(Predicted) |
| 比重 | 0.804 |
| 颜色 | 无色 |
| 敏感性 | air sensitive, moisture sensitive |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作为ALD膜的前驱体材料。目前作为二烷基氨基硅烷的制造方法，在由氯硅烷与二烷基胺的反应而合成的方法中，除了目标二烷基氨基硅烷以外，还大量副产二烷基胺的盐酸盐，因此在获得目标二烷基氨基硅烷时，需防止由于大量溶剂所造成的体积效率降低，从而廉价地大量制造。
作为使二烷基胺与氯硅烷反应时的溶剂，使用对于反应中所副产的二烷基胺的盐酸盐及金属氯化物而言溶解度高的非质子极性溶剂，及二烷基氨基硅烷的溶解度高、难以溶解卤素化合物的直链状烃或分支状烃，藉此可体积效率高地制造卤素含量少的二烷基氨基硅烷。进行精馏，此可获得卤素含量(氯)成分低的高品质的二烷基氨基硅烷。现有专利及文献技术所使用双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)精制，大多使用精馏方式，双(二乙基氨基)硅烷纯度难以超过99.99%。
急性毒性 - 口服 - 类别3
急性毒性 - 吸入 - 粉尘/气雾 - 类别4
急性毒性 - 吸入 - 蒸气 - 类别4
急性毒性 - 吸入 - 气体 - 类别4