三氟化氮化学式NF3。无色、无臭、性质稳定的液化气体，不溶于水和碱，化学上较惰性，但赤热时与金属、非金属作用，与油和脂肪发生反应，与氢气激烈作用。高纯三氟化氮几乎没有气味,它是一种热力学稳定的氧化剂,大约在350℃左右可分解成为二氟化氮和氟气,故其反应性质类似于氟。三氟化氮用作氧化剂时,在发生反应的同时,可作为二氟化氮游离基的供给源。比较常见的包装有两种20KG/44L钢瓶和8~14吨装的ISO管束槽。毒性大，与氟化物和氢氟酸类似。急性毒性：大鼠吸入LC50176ppm(lh)。美国规定作业环境空气中最高容许浓度为10ppm(30mg/m3)。
三氟化氮（NF3）主要用途是用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2与F2之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮Chemicalbook化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。
IC方面：由于作为半导体工业中气体清洗剂的全氟烃(PFC)对环境有害,近年来有逐渐被三氟化氮(NF3)取代之势。使用NF3作为化学蒸气沉积(CVD)箱清洗剂,与全氟烃相比,可减少污染物排放量约9Chemicalbook0%,且可显著提高清洗速度,从而可提高清洗设备能力约30%。LCD方面：NF3还可用作蚀刻剂,也用于液晶显示器(LCD)的加工。太阳能电池：NF3作为蚀刻和清洗气体也在太阳能电池制造行业广泛应用。
目前三氟化氮工业化生产主要有两条路线,一是合成法:将氟化氢铵在镍制反应器中加热,氟气、氮气和氨通过分布器进入反应器直接氟化反应。二Chemicalbook是电解法:在一定温度下,电解熔融的氟化氢铵,电解过程中阳极产生三氟化氮,阴极产生氢气。我国三氟化氮生产厂家的生产方法为上述两种方法。
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粤佳气体集团是广东地区综合性气体供应商之一，总部位于广州市增城新塘镇，公司成立于1993年，依托于西洲乙炔厂发展至今，并在2012年成立粤佳气体集团，集团包括广州市粤佳气体有限公司、清远市联升空气液化有限公司、英德市西洲气体有限公司、广州市谱源气体有限公司、广州耀升气体有限公司、中山格鲁博气体有限公司、深圳市昌达利气体有限公司、增城市和康贸易有限公司、大特粤佳（广东）气体有限公司。总资产超过5亿元，工厂总占地面积132,000平方米，职工600多人。
现有空气液化分离装置3套，高纯液氧纯化装置1套，乙炔生产装置2套，氢气生产装置3套，工业气体、可燃气体充装装置多套。建立了先进的混合气体和标准气体配制中心、气体质量检测中心及气瓶检验站，并拥有多套高纯气体纯化和充装系统。设有独立的危险化学品运输车队，危化品车辆超过80台，配送范围覆盖整个广东省及周边省份。
工厂已通过IS09001质量体系认证及0HSMS18000安全管理体系认证。多次荣获工商局“重信用守合同”优秀单位称号。