理化性质:
化学式WF6。分子量297.84。无色气体或淡黄色液体。有强刺激性。有毒,其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟,生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性,但Ni和不锈钢可抗其腐蚀性。干燥状态时,对玻璃的腐蚀性较弱,而在湿气中则能迅速反应。与气态氨反应强烈。能被氨水或碱所吸收。与碱金属氟化物可成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。
【密度】3.44×103kg/m3(15℃,液体)【熔点】2.5℃(5.6×104帕)
【沸点】17.5℃【临界温度】171℃
【临界压力】445.8kPa
【制备方法】由金属钨粉与元素氟直接反应合成。
【主要用途】
(1)一种强氟化剂,用于气相沉积法制钨膜。
(2)在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨,以制作低电阻、高熔点的互连线。
主要用途:六氟化钨(WF6)是唯一能稳定存在的钨的氟化物,具有极强的腐蚀性,可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能,被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用,其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜,钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层,因此被广泛应用于半导体集成领域;另外,六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及X射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。
危险特性:遇潮湿、空气或水会分解,放出剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。对皮肤、眼睛、粘膜能引起极严重的灼伤。高浓度暴露会引起恶心、呕吐、腹痛、抽搐、肾损伤。
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