CAS 177080-67-0(2 - 甲基 - 2 - 金刚烷基甲基丙烯酸酯) 是一种关键的光刻胶单体,主要作为ArF(193nm)化学放大光刻胶的核心成膜树脂组分,凭借其金刚烷笼状结构赋予光刻胶高耐热性、优异的抗干法蚀刻能力与高玻璃化转变温度(Tg),在曝光后能实现高分辨率、陡直侧壁的纳米级电路图形,广泛用于先进半导体芯片制造(如逻辑芯片、存储芯片)的微细加工工艺。
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