2 - 异丙基 - 2 - 金刚烷基甲基丙烯酸酯(CAS 297156-50-4)主要用作ArF 光刻胶(193nm)核心单体,凭借金刚烷刚性骨架与异丙基结构,赋予光刻胶聚合物高蚀刻抗性、高分辨率、低线边粗糙度(LER),适配 50nm 以下先进制程;也可作为特种丙烯酸酯单体,与其他单体共聚制备高耐热、耐化学、高硬度的功能高分子,用于电子材料、耐高温涂料、胶黏剂、光学材料,还可用于生物医药材料(药物载体、组织工程)及纳米压印模板、半导体光刻等领域。
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