分子量:488.54 g/mol外观:白色至类白色粉末或结晶固体
物理化学性质
1.溶解性:易溶于常见有机溶剂,如丙酮、乙腈、丙二醇甲醚等。
2.热稳定性:常温下稳定,加热或光照条件下分解产生酸性物质。
3.光敏性:对深紫外(248 nm、193 nm)具有良好响应,酸产率高。
4.储存条件:避光、低温、干燥环境下保存,避免与强碱性或强氧化性物质接触。
应用领域
1. 半导体光刻胶
用作深紫外光刻胶(DUV)的光酸发生剂。
适用于先进节点半导体制造中的高分辨率曝光工艺。
2.显示面板制造
应用于液晶显示(LCD)、有机发光二极管(OLED)光刻工艺中的感光材料。
3.微纳加工
在电子束光刻(EBL)、离子束曝光中作为高效 PAG 使用。
4.光敏聚合体系
用于电子封装、光刻胶涂层和光敏涂料中,提升光敏反应速率和酸扩散控制能力。
陕西德莱维特生物科技有限公司
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吴经理