三甲基硅烷

三甲基硅烷

中文名称三甲基硅烷
中文同义词三甲基硅烷
英文名称TRIMETHYLSILANE
英文同义词Trimethylsilane,97%;TRIMETHYLSILANE (IN CYLINDER);trimethylsilicon;Trimethylsilyl hydride, 2-Methyl-2-silapropane;SILICON TRIMETHYL;TRIMETHYLSILANE;(CH3)3SiH;2-Methyl-2-silapropane
CAS号993-07-7
分子式C3H10Si
分子量74.2
EINECS号213-603-0
相关类别硅烷试剂;有机化工;医药生物化工;特殊气体 ( Specialty Gases );电子气体;半导体;organosilicon compounds
Mol文件993-07-7.mol
结构式三甲基硅烷 结构式

三甲基硅烷 性质

熔点-135,9°C
沸点6,7°C
密度0,638 g/cm3
折射率1.3800 (estimate)
闪点<-29°C
形态液体
比重0.638
水溶解性1.4g/L at 20℃
水解敏感性3: reacts with aqueous base
LogP2.2 at 20℃
CAS 数据库993-07-7
EPA化学物质信息Silane, trimethyl- (993-07-7)

三甲基硅烷 用途与合成方法

三甲基硅烷或三甲基硅化氢,是一种有机硅化合物。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。

三甲基硅烷是具有刺鼻气味的无色液体,其蒸汽比空气重,可能沿地面流动,造成远处着火。

三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料,其用途逐渐扩大。

安全信息

危险类别码12-36/37/38
安全说明9-16-26-33
危险品运输编号3161
TSCAYes
海关编码2931900050

MSDS信息

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